罗茨真空泵指的是具备一对同步高速运转的鞋底形转子的机械真空泵，此泵不能独立抽气，前级要配油封、水环等可直排大气。它的构造和原理与罗茨风机类似，运行时其进气口与被抽空容器或真空系统主抽泵相连。这类真空泵的转子与转子间、转子与泵壳间互相不触及。无需用油润滑。转子型线有圆弧线、渐开线和摆线等。渐开线转子泵的容积利用率高，加工精度更易确保，故转子型线多用渐开线型。

罗茨真空泵的极限真空除在于泵本身构造和制作精确度外，还在于前级泵的极限真空。为了更好地提升泵的极限真空度，可将罗茨真空泵串联运用。罗茨泵的原理与罗茨风机类似。因为转子的持续旋转，被抽气体从进气口吸进到转子与泵壳间的区域v0内，再经排气口排出去。因为进气后v0区域是全封闭式模式，因此，在泵腔内气体并没有压缩和膨胀。但当转子顶部转过排气口边沿，v0区域与排气侧互通时，因为排气侧气体压强较高，则有部分气体返跑到区域v0中去，使气体压强忽然升高。当转子再继续运转时，气体排出去泵外。