真空泵的开展从十七、十八世纪迄今已阅历了三个多世纪漫长的前史过程。从原始的水泵开始开展成为现有的机械泵、分散泵、分子泵、低温泵、离子戮射泵、进步泵等数十种。真空取得才能也从原来的几百帕开展到现在的高真空、超高真空领域。抽速、机械性能和可靠性等都得到惊人地进步。不过在真空泵的前史上,关于谁是泵的鼻祖这个问题众说纷纭，人们各自引经据典,争论不休。

一部分人将初次创造的桂冠加在冯·奥托·葛利克的头上,以为真空泵的发是他在1650年左右用水银管进行的真空试验引起的。另一些人却以为初次创造的交椅应由伽利略来坐，提出伽利略曾试图用柱罐、活塞和重力测量真空形成时的力,为真空泵奠定了基础。

•        一、前史上有切当记载的，可以以为真空技术的前史开始于1643年。其时，托里拆利(Torricelli)将一端密封的长管注满水银并倒置在盛有Hg(汞)的槽里时，发现了密封的玻璃管中760mm水银柱顶端产生的真空。
•    　 二、真空技术的草创时期延续到电灯泡的创造。在这段时期内，在气体定律的基本原理方面，取得了严重的理论和实践的科学技术打破。如玻义耳-马里奥特，查理，盖·吕萨克，伯努利，阿佛加德罗，麦克斯韦，玻尔兹曼等人的成果。

1、玻义耳-马略特定律：在其温度保持不变时，必定质量的气体其压强和体积成反比；或者说，其压强P与它的体积V的乘积为一常量。

2、伯努利与气体分子运动论：伯努利明确地叙述了气体分子运动论，以为气体效果在容器壁上的压力，可以用很多的分子快速地来回运动来解释。

•    三、真空实际使用的第一个进展，是和利用真空与大气之间的压力差所产生的机械效果力联系在一起的。葛利克（上面和伽利略吹牛逼的大佬）用一个由两个半球组成直径为119cm球体，内用真空泵抽暇，在大气压力效果下在其两边各用8匹马而不能摆开的这个经典试验证明了大气的力量。(此即所谓的马德堡半球试验)。后人把这个原理用于真空邮寄线和真空铁路运输。