浙江英帕真空是专业从事生产真空泵和提供真空解决方案的企业，目前真空泵作用是利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。 

目前英帕真空生产与销售的真空泵有D系列双级旋片真空泵、V系列单级旋片真空泵、LGB系列无油螺杆真空泵、R系列罗茨真空泵、以及各种个性化真空系统。

今天来跟各位朋友介绍一下，真空在半导体行业中的应用。

• 真空系统简介

通过真空系统设计，在单独的生产机器上，较多的单泵被几个较大的真空泵所代替。配置自动化变频控制系统，通过储气罐主管支管连接到生产机器上。真空的供给完全按照生产的需求全自动运行，这意味着节省能源，造价低，维修方便，性能稳定。员工工作区的噪音水平大大降低，满足半导体行业工艺要求。

• 真空泵应用部分

1.生产用真空主要通过高真空使工作空间空气减少，保持工作空间的洁净，主要使用的真空泵类型包括干泵（干式螺杆真空泵、爪式泵）和分子泵及其机组。生产用真空设备在数量上较大，单机功率较小。

2.清扫真空主要利用负压与大气压差进行液体或颗粒的清除或输送，此类应用主要采用水环泵和多级离心风机，因为真空度低所以更多的是采用多级离心风机，真空源是其系统的一部分。

3.工艺真空主要利用负压吸附进行工件搬运或夹持，螺杆泵、爪式泵等干泵以及水环泵、旋片泵、微油螺杆泵都是工艺真空中常见的真空设备。