图中为两台螺杆LGB180作为前级泵，分别连接一台罗茨真空泵R600，作为一级增压，然后汇总到一台R2500罗茨泵，作为二级增压。

此真空机组可实现极限真空度0.01Pa以内，并在泵口增加过滤系统。多种电磁阀协同，配合其他阀门联合组成一套复杂真空系统。为复杂的工艺要求提供高可靠性解决方案和真空产品。

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